在巡游过程中，秦始皇还多次刻石立碑，歌颂自己的功德，如泰山刻石、琅邪刻石等。
晚年求仙
秦始皇晚年追求长生不老，他听信方士的话，派人四处寻找仙药。为了满足自己的求仙愿望，秦始皇耗费了大量的人力、物力和财力。同时，他还举行了一系列的封禅大典，希望能够得到上天的眷顾，实现长生不老的梦想。然而，这些行为最终都没有实现他的愿望。
沙丘去世
公元前210年，秦始皇在第五次巡游途中，到达沙丘（今河北广宗西北）时突然生病，不久后去世，享年50岁。秦始皇死后，赵高与李斯合谋，伪造遗诏，赐死扶苏，立胡亥为帝，即秦二世。
秦始皇的一生充满了传奇色彩，他统一六国，建立了中国历史上第一个大一统王朝，推行了一系列影响深远的政治、经济、文化措施，对中国历史的发展产生了不可磨灭的影响。虽然他在晚年也有一些过失，但他的功绩仍然远远大于他的过失，被誉为“千古一帝”。
秦始皇嬴政，堪称中国历史长河中最为耀眼且极具争议的人物。
他雄才大略，功绩震古烁今。政治上，结束春秋战国数百年的分裂割据，建立起首个大一统王朝，首创皇帝制度，以“朕”自称，凸显至高无上地位，在中央设三公九卿，地方推行郡县制，构建起延续两千多年的封建政治框架。经济层面，统一度量衡、货币，让全国的商业往来更加顺畅，促进经济交流融合。文化领域，统一文字，以小篆为标准字体，文化传播有了统一规范，极大推动民族文化认同感。军事上，派蒙恬北击匈奴，修筑万里长城，南征百越，拓展华夏版图，奠定后世中国基本疆域。
然而，他的统治也饱受诟病。为满足个人私欲，修建阿房宫、骊山陵，耗费大量人力、物力、财力，百姓苦不堪言。他推崇法家思想，实行严刑峻法，让民众生活在高压之下。晚年更是痴迷长生不老，耗费巨额财富寻求仙药，荒诞之举加重社会负担。“焚书坑儒”更是钳制思想，毁灭大量珍贵文化典籍，成为文化史上的一场浩劫。
秦始皇有功有过，功在统一与制度奠基，过在暴政与文化破坏 ，他的复杂多面，也引得后人不断评说 。